激光全息光刻法制作光子晶體LED

2013-06-22

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激光全息光刻技術利用光的干涉衍射特性，通過特定的光束組合方式，來調控干涉場內的光強度分布，并用感光材料記錄下來，從而產(chǎn)生光刻圖形。